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產(chǎn)品名稱:
杉本KOSAKA 臺(tái)階儀薄膜測(cè)厚儀
產(chǎn)品型號(hào):
ET200A
產(chǎn)品展商:
KOSAKA小坂
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):62
產(chǎn)品文檔:
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KOSAKA 臺(tái)階儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) ET200A
杉本KOSAKA 臺(tái)階儀薄膜測(cè)厚儀
的詳細(xì)介紹
臺(tái)階儀ET200A產(chǎn)品參數(shù)
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*大試片尺寸
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Φ200mm×高度50mm
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重現(xiàn)性
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1σ ≤ 1nm
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測(cè)定范圍
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Z:600um X:100mm
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分解能
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Z:0.1nm X:0.1um
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測(cè)定力
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10UN~500UN (1mg-50mg)
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載物臺(tái)
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Φ160mm, 手動(dòng)360度旋轉(zhuǎn)
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ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來實(shí)現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。