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產(chǎn)品資料
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分光干渉式晶圓膜厚儀大塚電子Otsuka[產(chǎn)品打印頁(yè)面]

]資料
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以 產(chǎn)品名稱: 分光干渉式晶圓膜厚儀大塚電子Otsuka
產(chǎn)品型號(hào): 相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備 RETS-100
產(chǎn)品展商: OTSUKA大塚電子
折扣價(jià)格: 0.00 元
關(guān)注指數(shù):41
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備 RETS-100

分光干渉式晶圓膜厚儀大塚電子Otsuka

   的詳細(xì)介紹

即時(shí)檢測(cè)

WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于減薄制程中的厚度變化(強(qiáng)酸環(huán)境中)

產(chǎn)品特色

非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè)采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測(cè)可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測(cè)可對(duì)應(yīng)長(zhǎng)工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中體積小、省空間、設(shè)備安裝簡(jiǎn)易可對(duì)應(yīng)線上檢測(cè)的外部信號(hào)觸發(fā)需求采用*適合膜厚檢測(cè)的獨(dú)自解析演算法。(已取得磚利)可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣

SF-3

膜厚測(cè)量范圍

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重復(fù)精度

0.001% 以下

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

測(cè)量光源

半導(dǎo)體光源

測(cè)量口徑

Φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測(cè)量范圍不同※2 *小Φ6μm
日本OTSUKA
大塚相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備RETS-100 日本OTSUKA大塚相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備RETS-1江蘇蘇州南京太倉(cāng)安徽蕪湖合肥浙江杭州常州常熟蘇州古尾谷有售強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)有技術(shù)支持
詳情介紹:
相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備 RETS-100
相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備 RETS-100對(duì)應(yīng)范圍廣,從反射型?透過(guò)型type的已封入液晶的cell到帶有彩色濾光片的空cell都可對(duì)應(yīng)
蘇州古尾谷電子有限公司 代理銷售  直供各類工業(yè)品  聯(lián)系人陳小姐15250013623
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產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
? 采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器
? 有可對(duì)應(yīng)各種尺寸的裝置,從1mm大小的光學(xué)素子到第10代的大型基板
? **對(duì)策和粒子對(duì)策,可對(duì)應(yīng)液晶line內(nèi)的檢查設(shè)備
測(cè)量項(xiàng)目
? 封入cell gap
? twist角
? rubbing角
? pretilt角[TN,IPS,FFS,MVA]
? 空cell gap
? 相位差(復(fù)折射相位差)的波長(zhǎng)分散
? 光學(xué)軸
? 橢圓率/方位角
? 三次元折射率/Rth/β
? 分光光譜/色度
測(cè)量對(duì)象
? 液晶cell
- 透過(guò)、半透過(guò)型液晶cell(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強(qiáng)感應(yīng)電)
- 反射型液晶cell(TFT、TN、IPS、VA)
? 光學(xué)材料
- 其他(相位差?橢圓?偏光膜、液晶材料)
仕 樣
型號(hào)
RETS series
樣品尺寸
20mm×20mm ~ *
cell gap測(cè)量范圍
0.1μm ~ 數(shù)10μm
cell gap重復(fù)性
±0.005μm
檢出器
多通道分光光度計(jì)
測(cè)量波長(zhǎng)范圍
400nm ~ 800nm
光學(xué)系
    透過(guò)用偏光子unit
偏光光學(xué)系
    消光比 10-5內(nèi)置Gran-tomson prism(方解石)
    自動(dòng)旋轉(zhuǎn)(角度精度0.1°)、自動(dòng)裝卸機(jī)構(gòu)
測(cè)量口徑
φ2, φ5, φ10 (mm)
光軸傾斜機(jī)構(gòu)
-20 ~ 45°、-45 ~ 45°等
* 大型玻璃基板也可用(2000mm×2000mm以上)
測(cè)量案例
相位差與液晶層間隙值
item_0008retsseries_sub001.jpg
液晶面內(nèi)分布圖
item_0008retsseries_sub002.jpg
長(zhǎng)期供應(yīng) 大冢光學(xué)OTSUKA RETS-100 日本OTSUKA大冢相位差膜?光學(xué)材料檢查設(shè)備RETS-100     蘇州市新杉本電子科技有限公司/ 日本大冢OTSUKA 蘇州新杉本直銷/聯(lián)系人陳小姐15250013623
1、VR/AR硬件設(shè)備:顯示設(shè)備、輸入設(shè)備、數(shù)據(jù)設(shè)備、跟蹤設(shè)備、跟蹤系統(tǒng)、定位系統(tǒng)、其它跟蹤等;
2、VR/AR技術(shù):立體顯示技術(shù)、環(huán)境建模技術(shù)、真實(shí)感實(shí)時(shí)繪制技術(shù)、三維虛擬聲音技術(shù)、視覺(jué)實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)繪制技術(shù)、人機(jī)自然交互技術(shù)、傳感技術(shù)、物理仿真技術(shù)、三維全真技術(shù)、實(shí)時(shí)碰撞檢測(cè)技術(shù)等;
3、VR/AR系統(tǒng)設(shè)備:沉浸式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、桌面式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、增強(qiáng)式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、分布式虛擬現(xiàn)實(shí)系統(tǒng)、視覺(jué)感知設(shè)備、聽(tīng)覺(jué)感知設(shè)備、觸覺(jué)反饋設(shè)備、信息處理系統(tǒng)等;
4、VR生產(chǎn)設(shè)備及零配件:VR系統(tǒng)半導(dǎo)體、顯示器、光學(xué)鏡片、光學(xué)模組、微顯示器、傳感器、顯示芯片、顯示屏、微電子技術(shù)和系統(tǒng)集成等;
5、VR/AR軟件:建模工具軟件、開(kāi)發(fā)工具軟件、web3D技術(shù)、cult3D技術(shù)、VRML虛擬現(xiàn)實(shí)建模語(yǔ)言、全景技術(shù)等;
6、VR/AR娛樂(lè):VR樂(lè)園、VR旅游、VR/AR駕駛、VR建模游戲、VR射擊游戲、數(shù)字影院、數(shù)字影片、互動(dòng)多媒體、體感互動(dòng)、3D投射球幕影院、360全息投影、五維影院、VR影視、VR主題公園、VR賽車、VR跳舞、VR密室逃脫、VR二次元等;
7、VR/AR**科普系列:地震逃生(校園場(chǎng)景/家庭場(chǎng)景

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